1.高效、快速
臭氧仅在1min内就可以100％杀死细菌、酵母和黑曲霉菌。臭氧水灭菌消毒不同于一般灭菌、消毒剂，如次氯酸（HOCl2）、二氧化氯（ClO2）的灭菌、消毒是进行性、累积性的，臭氧水灭菌消毒则急速性的，当臭氧的浓度超过阀值，消毒、杀菌就会瞬时发生。如清净水中臭氧浓度达0.4－0.5ppm时，在0.5～5min内就可以致死细菌。
2.安全、可靠
臭氧的分解产物是氧气，不会产生残留污染。另一方面，它作为气体，扩散性好，浓度均匀，尤其在高湿度环境中，比紫外灯更实用，而且操作方便，安全可靠。臭氧对人体毫无影响。
3.价格便宜
生产1吨0.5～1.5ppm浓度的臭氧水仅需0.8元。是世界上廉价的消毒灭菌剂。
