1、喷嘴：高压微雾加湿器在长期工作后喷嘴中可能形成水垢，影响微雾效果，须予以清除。可关闭分支导管的开关阀（在关闭分支导管开关阀时，须注意系统压力值，防止压力急剧上升，危害整个系统），用后备喷嘴换下堵塞的喷嘴，将其泡在喷嘴清洗剂（柠檬酸）中24小时，再清洗吹干（压缩空气）后作备用。不可用针或尖锐硬棒等物进行挑剔。
2、主机：定时清洗高压微雾加湿器主机水箱，及时排除沉积杂质异物。
3、水过滤器：每隔10天左右清洗水过滤器，清洗内芯；清洁周期根据水质和环境而定。
4、水泵：水泵联轴器垫片和液位传感器为易损件，应定期检查，发现问题（如出现垫片磨损、液位传感器不动作等）应及时更换。
5、高压微雾加湿器高压水泵在使用之zui初50小时后润滑油应该全部更换(2次)，2次之后每隔150小时更换一次。（使用前应检查机油是否变质）更换机油时，先旋开泄油螺丝排尽旧机油，然后将泄油螺丝拧紧，打开加油盖注入SAE20W-50清洁机油。油面应保持在油箱三分之二的位置。
