U23SL高纯减压器概述：

U23SL系列减压器适用于大流量使用，特别适用于高纯低压系统。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。

进口U23SL高纯减压器结构特点：

316L不锈钢母体　　

膜片式硬密封，泄漏率低

可采用面板或后座安装　　

压力表标准连接：1/4"FSR(M)　

可选：1/4"FSR(F)　　　　　　　　

内部电解抛光

高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业

使用寿命长

通过氦气测试

进口U23SL高纯减压器材质：

母体：316L

阀座：PCTFE，Vespel®

膜片：316L

上盖：316

进口U23SL高纯减压器功能特性：

流量：Cv=1.8

母体泄漏率：2x10-8atm cc/sec He

阀座泄漏率：4x10-8atm cc/sec He

设计验证压力 额定压力的150%

设计*压力 额定压力的400%

进口U23SL高纯减压器工作条件：

*的入口压力：500psi，3000psi

出口压力：0～25psi、0～50psi、0～100psi、0～150psi

温度：-40℉～+165℉(-40℃～+74℃)

进口U23SL高纯减压器流道表面：

标准：Ra 20μin

可选：Ra 10μin

进口U23SL高纯减压器内部容积