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真空区域划分

时间:2011-06-15      阅读:438

真空区域划分:

真空区域
压强范围
托(Torr
帕(Pa
低真空
760-10
101325-1333
中真空
10-10-3
1333-1.33×10-1
高真空
10-3 -10-8
1.33×10-1-10-6
超高真空
10-8-10-12
10-6-10-10
*真空
10-12
10-10
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