测量超纯水、纯水可以选用液体涡轮、超声波流量计。超声波流量计适用超纯水系统超纯水设备应用，超声波流量计采用低电压、多脉冲时差测量基本原理：一个探头发送数据信号越过壁厚、物质、另一侧壁厚后，被另一个探头接受到，另外，第二个探头一样发送数据信号被前面发射信号的探头接受到，因为遭受物质水流量的危害，二者存有时差Δt,依据测算能够算出水流量V和时差Δt中间的计算关联V=(C2/2L)×Δt，从而能够获得流量值Q。超声波流量计是一种非接触式仪表，它既能够测量大管径的流体流量还可以用以测量不容易触碰和观察的物质的测量。几乎不受被测物质的各种各样主要参数的影响，特别是在能够处理其他仪表不可以的强腐蚀性、非导电率、放射性物质及易燃易爆物品物质的流量计原理难题。超声波流量计是一种非接触式仪表，它既可以测量大管径的介质流量也可以用于不易接触和观察的介质的测量。它的测量准确度很高，几乎不受被测介质的各种参数的干扰，尤其可以解决其它仪表不能的强腐蚀性、非导电性、放射性及易燃易爆介质的流量测量问题。使用超声波流量计不用在流体中安装测量元件故不会改变流体的流动状态，不产生附加阻力，仪表的安装及检修均可不影响生产管线运行。外夹式超声波流量计适用测量超纯水系统的流量测量。

液体涡轮流量计当流体经传感器壳体，由于叶轮的叶片与流向有一定的角度，流体的冲力使叶片具有转动力矩，客服摩擦力矩和流体阻力之后叶片旋转，在力矩平衡后转速稳定，在一定条件下，转速与流速成正比，由于叶片有导磁性，处于信号检测器磁场中，旋转的叶片切割磁力线，周期性的改变着线圈的磁通量。性二十线圈两端感应出电脉冲信号。此信号经过放大器的放大整形，远处到显示仪表，显示流体的瞬时流量和累积流量。涡轮流量计的输出是频率调制式信号，不仅提高了检测电路的抗干扰性，而且简化了流量检测系统。液体涡轮流量计结构紧凑轻巧，安装维护方便，流通能力大。适用高压测量，耐磨性好，测量准确度高，一般在±0.5%~±1.0%。计量稳定，适合用于贸易结算。

一般食品类、药业等行业应用的是纯净水、超纯水，因这种水不导电，所以不能选用电磁流量计测量，而纯净水和超纯水对原材料规定比较高，因此生产制造时行为主体原材料务必应用316L，应用环境卫生型卡箍接头，选用液体涡轮流量计成本会相对很高，外夹式超声波流量计，非接触式测量，安装简单，是相对比较理想的选择。