反渗透超纯水设备

　　反渗透水处理设备（膜分离）技术的应用使反渗透超纯水设备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器得到了一次进步。

　　近年来开始在国外推广应用的EDI（电去离子）技术，则是超纯水制造技术的一次革命，从此进入了一个无需再生化学品，而能生产出高达18MΩ·CM的超纯水，用于半导体、集成电路等行业。　

　　是采用RO技术设计，关键部件、设备采用进口产品，工艺*，质量可靠，可扩展性强，结构合理占地小，水利用率高，能耗低，全自动化运行，操作维护简单。一般产水下限0.25m3/hr，上限不限，水回收率一般可达75%以上，脱盐率＞98%。产水量随进水温度下降和反渗透膜老化或受污染有一定变化。

　　典型工艺流程为：

　　1: 预处理→反渗透→纯化水箱→离子交换器→紫外灯→纯水泵→用水点

　　2: 预处理→一级反渗透→二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯化水箱→纯水泵→紫外灯→用水点

　　3: 预处理→反渗透→中间水箱→中间水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵-紫外灯→用水点

　　4: 预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC→ UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点

　　水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级）