5400系列金属密封型质量流量计控制器

经济型，适用于半导体等行业，5400是质量控制器，5410是质量流量计
流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀：常闭，电磁隔膜阀
反应时间：到达设定值±2%范围内≤1秒
精度：±1%以内
线性：±0.5%以内
重复性：±0.2%以内
使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA，5SLM <范围≤20SLM时，147～294KPA
压力限制：980KPA
泄露率：1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小
操作温度：0～50°C
接触介质的材质：本体: SUS316L
隔膜：Ni-CO
阀座:PTFE
密封材料:Ni,SUS316L
连接：1/4VCR
电气连接：9针插座
控制信号：0-5VDC
输出信号：0-5VDC
电源：5400：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA
　　　5410：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 100 mA