超纯水设备是RO+EDI的工艺组成：

反渗透（ RO ）技术是一种利用膜分离去除水中离子的方法，尽管反渗透系统将水中 95%-98% 的离子去除，但还不能满足工业生产的要求，其后续工艺必须使用离子交换设备。

EDI是将电渗析技术和离子交换技术有机结合形成的一种新型除盐技术。可以有效的去除水中全部离子，出水电阻率可稳定在15MΩ.CM以上，连续运行、无化学污染、水的利用率高，在高纯水制备工艺上有着广阔的应用前景。　　EDI 装置是应用在反渗透系统之后，取代传统的混合离子交换技术（MB-DI）生产稳定的去离子水。EDI技术与混合离子交换技术相比有如下优点: 　　①水质稳定　　②容易实现全自动控制　　③不会因再生而停机　　④不需化学再生　　⑤运行费用低　　⑥厂房面积小　　⑦无污水排放。 　　。近几十年以来，混合床离子交换技术一直作为纯水制备的标准工艺。由于其需要周期性的再生且再生过程中使用大量的化学药品（酸碱）和纯水，因此已很难满足于无酸碱纯水系统。 　　正因为传统的离子交换已经越来越无法满足现代工业和环保的需要，于是将膜和树脂结合的 EDI 技术成为水处理技术的一场革命。该技术应用电再生离子交换除盐工艺取代传统混合离子交换除盐工艺DI 。通过离子交换树脂及选择性离子膜达到高脱盐效果，与反渗透结合的联合工艺使产水水质可达 10~17M Ω· CM 的高规格产水。 工作原理： 　　1.水进入 EDI 系统，主要部分流入树脂/膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。 　　2.树脂截留水中的溶存离子。 　　3.被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。 　　4.阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外。 　　5.阴离子透过阴离子膜，排出树脂/膜之外。 　　6.浓缩了的离子从废水流路中排出。 　　7.无离子水从树脂/膜内流出。进水水质要求： TEA（ 含 CO 2 ） <25mg/LasCaCO 3 PH 5 - 9 硬度 < 0.1 mg/LasCaCO 3 硅 <0.5mg/L TOC <0.5 mg/L 余氯 <0.05mg/L Fe ， Mn ， H 2 S <0.01 mg/L。应用领域:电厂化学水处理,电子、半导体、精密机械行业超纯水,制药工业工艺用水 ,食品、饮料、饮用水的制备,海水、苦咸水的淡化,精细化工、精尖学科用水,其他行业所需的高纯水制备