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MAIA3
TESCAN MAIA3分析用扫描电子显微镜
简要描述:MAIA3是新开发的分析用扫描电子显微镜,它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次电子信号,在1kV下分辨率为1.4nm。此型号电镜配备肖特基场发射电子枪,以及TESCAN的三透镜电子光学系统。相比于常规物镜,它采用了TESCAN*构造的60度磁浸没物镜,它能显著地减小光学像差,在低电压下依然有着超高的分辨率。
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