一、微电子生产用超纯水设备概述

　　微电子生产用超纯水设备顾名思义主要应用于微电子生产领域，微电子是继集成电路而发展起来的一门新型技术，微电子是一种高度精密的技术，因此生产过程对于用水要求相对严格。微电子生产用超纯水设备采用的制水技术，保证设备的出水水质符合行业用水。

　　二、微电子生产用超纯水设备工艺流程

　　工艺大致分成以下3种：

　　1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

　　2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

　　3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

　　三、微电子生产用超纯水设备工艺比较

　　目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：

　　1、种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

　　2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。

　　3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是目前制取超纯水经济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。

　　四、微电子生产用超纯水设备应用领域

　　1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水。

　　2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水。

　　3、实验室和中试车间用超纯水。

　　4、汽车、家电表面抛光处理。

　　5、光电子产品。

　　6、其他高科技精微产品。

　　以上是微电子生产用超纯水设备的简单介绍。莱特莱德上海水处理设备公司是一家专业生从事水处理设备设计、制造、销售和服务的高科技企业，凭借着高质量的产品，良好的信誉，优质的服务，产品近三十多个省、市、自治区。莱特莱德上海水处理设备公司将一如既往，以优质的产品、竭诚的服务，与新老客户携手进步，共同发展，共创美好明天。