chiller温控器冰水机HRS090制冷剂充注服务

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

半导体冷却装置Chiller适用于半导体、元器件、芯片等高低温温度模拟测试，这是一种生产过程中的控温设备。半导体冷却装置Chiller采用了PID控制算法和自适应的控温技术，主要由热交换器、循环泵、压缩机等组成。

chiller温控器冰水机HRS090制冷剂充注服务

制冷剂充注，水泵维修，系统检漏，改造翻新等服务

chiller温控器冰水机HRS090制冷剂充注服务

泵体、管路发生的泄露、流量小、冷却力、加热力的下降，温度无法调节等，按照客户遇到问题时提出的要求，进行维修。
1. 水泵泵体，卡住，异响，振动大
2. 冷冻机，无法制冷，管道堵塞，跳电
3. 维修热交换器、加热器

4.制冷剂充注，水泵维修，系统检漏，改造翻新等服务

chiller温控器冰水机HRS090制冷剂充注服务

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

变频控制，智能PID控制
预测控制及自适应控制
模块化功能定制，高效节能
两级闭环节能控制

chiller温控器冰水机HRS090制冷剂充注服务 应用领域

激光加工、印刷设备、清洁设备、焊接设备、高分析仪、LCD制造设备、模具温调、高频感应加热设备、X射线（数字式）设备等

高低温液体冷却机Chiller

温控精度（空载时）±0.05℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

占地面积小、保护装置

快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

运行稳定、准确控温