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1.半导体不锈钢螺杆真空泵的应用范围包括真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、灯管及灯泡制造、激光器制造、真空包装设备、汽车制造业、集中真空抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空除气、真空脱水、真空冷冻干燥、真空蒸馏。该设备具有特种涂层的螺杆转子和泵腔,可以抽除可凝气体,有毒有害气体。内部零件可进行防腐涂层处理,可适用于化工制药行业的特殊要求。
2.半导体不锈钢螺杆真空泵的特征特点:
(1)结构简单紧凑:对旋向相反的螺杆、泵体、端盖、密封件等部件组成,结构简单。
(2)抽气腔原件无摩擦:螺杆和泵体之间均有一定间隙。
(3)使用寿命长:由于腔内部部件之间不摩擦,润滑油在非气体过流部分部件中循环。
(4)真空度高:单台螺杆干式真空泵可替代三级罗茨泵水环真空机组。
(5)无污染:无需任何工作介质,因此无油污染,无污水。
(6)噪音低:一般情况下为80分贝左右。
(7)适宜抽可凝性气体(如水蒸气等)、含粉尘的气体。
(8)从大气抽*限压力5Pa,只要一台泵就能解决。