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英特格公司Entegris, Inc.(NASDAQ:ENTG)创立于1966年,总部位于美国马萨诸塞州Billerica,全职雇员3,419人,是一家半导体设备及材料公司,生产和销售一系列产品和服务,用于净化,保护和运输在微电子和其他高科技行业的加工和制造中使用的关键材料。
Entegris是净化,保护和运输半导体器件制造过程中使用的关键材料的产品和系统提供商。Entegris总部在马萨诸塞州,另外,在美国,马来西亚,新加坡,中国台湾,中国,韩国,日本,以色列,爱尔兰,德国和法国拥有制造、服务中心和研究设施。
英特格公司致力于通过改进几个关键工艺(包括光刻,湿法蚀刻和清洁,化学机械平面化,薄膜沉积,批量化学处理,晶圆和掩模版处理和运输以及测试)中的污染控制来帮助制造商提高产量, 装配和包装,公司约80%的产品用于半导体行业。
英特格公司分为2个部门来运作:关键材料处理(Critical Materials Handling)和电子材料(Electronic Materials)。
Critical Materials Handling——提供一系列用于过滤,处理,分配和保护在半导体制造工艺和其他高技术制造中使用的关键材料产品。该部门的产品和子系统包括高纯度材料包装,流体处理和分配系统以及液体过滤器,以及保护关键衬底(如运输和制造操作中的晶片)的微环境产品。它还提供用于高温应用的专用石墨组分和特种涂料
Electronic Materials——提供能够实现半导体制造的性能材料,材料封装和材料输送系统。其产品包括专业化学品和性能材料,气体微粒控制系统和组件,以及亚大气压力气体输送系统,用于处理半导体工艺设备的有害气体。
Entegris公司服务于半导体器件制造商、原始设备制造商(OEM)、气体和化学制造公司和高精度电子制造商服务;太阳能和生命科学行业的制造商和供应商;和放电加工(electrical discharge machining)客户、玻璃容器制造商、航空航天制造商和生物医学植入设备制造商、以及平板显示器OEM和材料供应商。
1966年,Fluoroware, Inc.创立,是为Entegris, Inc.前身之一;
1999年,Fluoroware, Inc.与EMPAK, Inc.合并,成立Entegris, Inc.;
2000年,Entegris, Inc. IPO登陆纳斯达克;
2005年8月,Entegris与公开控股公司Mykrolis Corporation合并,后者是一家半导体行业过滤产品供应商,于2000年从Millipore Corporation(现Merck Group子公司)剥离成立;
2008年8月,Entegris 收购德州 Poco Graphite, Inc.;
2014年4月30日,Entegris 以11亿美金收购 ATMI公司,后者是一家为半导体行业提供关键材料和材料处理解决方案的公开控股公司。
Entegris 具有的技术和控制技术,水,去除化学的污染。英特格(英特格)提供各种薄膜和各种设备在一个环境下,可以满足各种化学性能以及制程条件下的生产性能以及促进技术的性能。
FlowPlane 线性过滤技术
的线性过滤技术。
Torrento X 过滤器
的水性、除气和腐蚀性酸碱化学品过滤。
Torrento S 过滤器
的、的溶剂和 BEOL 化学品过滤。
QuickChange NX 过滤器
对水性、除气和腐蚀性酸碱化学品进行高级过滤。
Fluorogard NX 过滤器
清洁、经济高效地过滤非除气、水性、酸和碱化学物质或高级溶剂应用。
Guardian ECD 过滤器
对低温稀酸和碱进行高级、超净过滤。
Intercept HP/HS 过滤器
同类佳的低温稀酸过滤器。
Impact 8G 过滤器 同类
佳、超清洁、使用点光化学过滤器,提供的流速性能和减少微气泡形成的能力。
Microgard UC 过滤器
的超洁净散装光化学过滤器。
Eximor SV5 过滤器
高级清洁、使用点过滤器,专为 NTD 和 RRC 溶剂而设计。
气体过滤器和精制器
液体过滤器和精制器
精准管理
特殊气体
裸片/CSP托盘盘
高粮包材
硬碟组合件管理
光罩和倍缩光罩管理
特殊材料
其他主题处理
产品和解决方案包括:
净化气体、流体和周围工厂环境的过滤产品
分配、控制、分析或运输过程流体的液体系统和组件
安全储存和输送有毒气体的气体输送系统
用于*节点沉积和清洁的特殊化学品
保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和托运人
提供高纯度表面以实现耐磨、防腐蚀和光滑的特种涂层
用于高性能应用的优质石墨和碳化硅
用于保护和运输磁盘驱动器组件的托运人和托盘
材料科学与分析
分离科学
膜科学与工程
聚合物表征和开发
界面科学
污染源分析
*材料
材料合成和定制配方
精密气体混合物
特种涂料
石墨、碳化硅和工程碳
表面处理和清洁
液体和气体储存和运输
微污染控制
的液体过滤和净化
万亿分之一 (ppt) 级别的气体净化
*晶圆厂的空气分子污染 (AMC) 解决方案
晶圆和光罩处理
流体管理、传感和控制
制造
超净元件和材料制造
快速原型设计和定制
集成 SPC 的质量控制
广泛的全球制造足迹