不锈钢FFU气流均衡装置
随着FFU的不断普及，绝大部分厂家都开始装配气流均衡装置，用来调整FFU的出口气流， 从而改善洁净室的气流分布。目前，这种均衡装置大约分为三种：一种为孔板(如图6所示)， 主要通过板上的孔的疏密分布来调节FFU的出口气流。一种为格栅(如图7所示)，主要通过格栅 的疏密来调节FFU的出口气流。另外一种为动力曲线(如图8所示)，主要通过曲线的形状来诱导气流的流动，同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。

不锈钢FFU过滤器
FFU所使用的过滤器和洁净厂房所用的其它过滤器一样，这里不再赘述。

八、金属防护网
金属防护网主要起到对过滤器的保护作用，大部分都防静电。

九、刀缘
当FFU使用在一些特别的场合时，带刀缘的FFU可使用液槽密封，从而能满足高密封性的要求。

控制单元
FFU的控制可大致分为多档开关、连续调节、计算机控制等几种，同时实现的功能有单台控 制、分区控制、报警、运行状态显示等。

 

组成
一、预过滤器
一般为可清洗聚胺脂泡沫，主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。

二、外壳体
组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、不锈钢等几种，不同厂家和不同的使用环境有不同的选择，厚度大约为1.2~2.0，视厚度情况有些可以载人。

三、风管连接部件
在洁净级别较低(≤1000级 联邦标准209E)的场合，此时吊顶上部没有静压箱，带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接十分方便。

四、电机
目前，交流电机和直流电机在FFU中都有使用，直流电机的体积大，造价高，控制容易实现，能耗较高。交流电机的体积小，造价低，控制需要相应的技术，能耗较低。现在FFU所使用的 电机的寿命大约为4~10万小时不等。一些优秀的电机会有相应的技术，如无油润滑，密封轴承，带过热保护，换向器寿命得到显著提高等。

五、叶轮
叶轮有两种形式，前倾和后倾，前倾有利于增加气流组织的矢向流动，增强去除尘埃的能力。后倾有利于降低能耗，减小噪音。