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优点
1. 进气口导热能力高
- 即使在高真空度环境下仍保持高排气量
2. 蒸气耐受性高
- 透过气体平衡阀,试剂和水蒸气的耐受性可达排气容量之 10% ,令操作更宁静,终真空效果更理想
3. 防腐蚀设计
- 内壁主要经机械研磨及等离子处理,关机时油封装置能有效防止腐蚀性气体进入泵内
4. 新式润滑设计、较大油量
- 令操作宁静,增加泵油寿命
5. 设计坚固
- 体积轻巧,方便维护
型号 | 流量 50/60Hz | 电机速度 | 重量 | 终真空度 (局部 ): | 终真空度 (整体 ): | 终真空度 (局部 ) 平衡气阀打开 : | 外型尺寸 |
RZ2.5 | 2.3 /2.8 | 0.18 | 11.4 | 4x10-4mbar | 2x10-3mbar | 1x10-2mbar | 308x125x190 |
RZ6 | 5.7 /6.8 | 0.3 | 16.4 | 4x10-4mbar | 2x10-3mbar | 1x10-2mbar | 370x142x207 |
RZ9 | 8.9/10.2 | 0.55 | 22.1 | 4x10-4mbar | 2x10-3mbar | 1x10-2mbar | 505x152x232 |
RZ16 | 16.6/19.1 | 0.55 | 29 | 4x10-4mbar | 2x10-3mbar | 1x10-2mbar | 545x152x232 |