光复合催化氧化废气处理技术
传统的工业废气治理技术，大多采用活性炭吸附空气中的有毒污染物，但污染物本身的处理仍然是一个问题。而以锐钛矿型纳米TiO2 催化剂为代表的光催化空气净化技术，具有室温深度氧化、二次污染小、运行成本低和可望利用太阳光为反应光源等优点，再加上纳米TiO2 制备成本低、化学稳定性和抗磨损性能良好等优点，在工业废气光催化氧化深度净化方面，显示出巨大的应用潜力。
光复合催化氧化是将臭氧与紫外光辐射（波长在180-300nm之间）形成高级氧化和臭氧与催化剂形成高级氧化相结合的一种双级高级氧化过程（高级氧化即羟基氧化，氧化电位2.8，仅次于自然界中氧化电位高的氟），它始于20世纪70年代，主要用于解决有毒且无法生物降解物质的废气废水处理问题。试验表明，将紫外光辐射与臭氧相结合，能使氧化速度提高10～104倍。臭氧在紫外光的辐射下会分解产生活泼的次生氧化剂OH自由基。臭氧在催化剂（贵金属氧化物的混合物）作用下，可以产生大量OH自由基。OH自由基与有害物进行化学反应，从而有效去除，终降解为CO2和H2O。
光解催化技术:
光敏半导体催化氧化或纳米金属氧化物光催化也是近年来的研究热点，但该技术的降解效率受控于污染物质与催化剂表面界面扩散速率，而且催化剂价格昂贵、很容易中毒失效，目前光催化技术很难用于大规模工业化应用，多局限于实验研究及小风量应用阶段。