超纯水系统是指系统从原水至超纯水完整产生的生产系统。 一般超纯水系统是经由多重过滤，离子交换，除气，逆渗透，紫外线，超滤，纳米率，离子吸附过滤所产生的超纯水。
1: 预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-纯水泵-用水点
2: 预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点
3: 预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点
4: 预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点
水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
超纯水系统反渗透(膜分离)法超纯水制造技术
反渗透是用足够的压力使溶液中的溶剂(一般常指水)通过反渗透膜(一种半透膜)而分离出来，方向与渗透方向相反，可使用大于渗透压的反渗透法进行分离、提纯和浓缩溶液。反渗透膜的主要分离对象是溶液中的离子范围。
①不需加热、没有相变;
②能耗少;过程连续稳定;
③设备体积小、操作简单，适应性强;
④对环境不产生污染。
反渗透超纯水系统根据不同的源水水质采用不同的工艺。一般自来水经一级反渗透系统处理后，产水电导率<10-20μS/cm，经二级反渗透系统后产水电导率<5μS/cm甚至更低，在反渗透系统后辅以离子交换设备或EDI设备可以制备超纯水，使电阻率高达18兆欧姆.厘米)。 反渗透膜老化或受污染后，产水质量会下降。
导电率：0.055 μS/cm
细菌含量：1 CFU/ml
TOC： 3－10 ppb*
除热原
性能：大每分钟1.5升
标准组件
超净过滤器装置，滤筒用纯聚丙烯制成
活性碳，清除无机、有机微量污染的离子交换树脂(核级别)和吸附器树脂
消毒过滤器，气孔大小0.2μm
组件选件
紫外光氧化装置作用，放射波长185、254nm
超滤器模块
超高纯的保证
■组件用高质量材料制成
超纯水循环
监控给水导电率
监控超纯水极限数值
■给水
用离子交换、反渗透或蒸馏,法预先处理水
推荐的导电率为0,1-5μS/cm
给水温度1－25℃
给水压力2－6巴
*按给水量而定
■净化水
导电率0.005μS/cm(18.2 MΩ-cm)
TOC值 10 ppb*（编号08.2202/08.2203）
TOC值 3ppb*(编号08.2204/08.2205)
流速zui大为每分钟1.5升
细菌含量1CFU/ml
粒子(0.2μm),少于每亳升1μm
除热原
产水量99%
*按给水量而定
■结构
高纯水系统可安装成台式或墙式，组成如下：
数字显示外壳
低噪声输送、循环泵
高纯水抗压减压器
塑料螺线管阀，用作自动冲洗阀
PVDF 排除活栓、0.2μm消毒过滤器
对所有送水零件进行消毒
所有送水组件均用聚丙烯或高质量天然物质制成
除热源
UV装置，分解有机物，有效波长185nm/254nm
安装了过滤器装置的TKA高纯水系统生产出的高纯水几乎不含TOC。由于采取了不同的高纯制备措施，因而尽可能减少了有机和无机成分。接线迅速接合，过滤器装置安装非常简单。
■过滤器装置组成
天然PP材料――避免退色
活性碳――去除有机物
专用离子交换树脂（核级别）――去除无机离子
吸附器树脂――去除溶解有机
低有机物除热源型
低有机物型
除热源型
基础应用型
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 （≥18MΩ.CM）(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(新工艺)
3、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）(新工艺)
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(新工艺)
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 （≥15MΩ.CM）(传统工艺)以上工艺各有各的优势，你可以根据你自身的情况选购适合你的工艺。随着科学的发展，很多新的工艺已经替代了旧的
1、电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。
2、化工工艺用水、化学药剂、化妆品等用纯水。
单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺用纯水。
食品工业用水:饮用纯净水、矿泉水、资料、啤酒、乳业等。
海水、苦咸水淡化：海岛、舰船、高盐碱地区生活用水改善
楼宇、社区优质供水:星级宾馆、机场、房产物业纯水网络系统等
化工行业工艺用水：化工冷却、化肥、化学药剂制造
工业产品制造用水：汽车、家电涂装、涂料、油漆、精细加工清洗等
电力行业锅炉补给水:热力、火力发电锅炉、中、低压锅炉动力系统 精细化工、精尖学科用水
