光源-紫外大面积曝光光源

F型光源-紫外大面积曝光光源

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9000 1

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2020-06-10 13:42:20
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长春市海洋光电有限公司

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产品简介

我们的1000 W紫外大面积曝光光源包括近紫外(350 - 450 nm)、中紫外(260 - 320 nm) 和深紫外(220 - 260 nm)光源。近紫外是经过专门设计,可曝光大部分光刻胶;中紫外用于聚合物交联以及新型光刻胶;深紫外主要用于深紫外光刻胶的研究。我们的照明器可辐照 2.13 x 2.13英寸 到 10 x 10 英寸的样品。

详细介绍

我们的1000 W紫外大面积曝光光源包括近紫外(350 - 450 nm)、中紫外(260 - 320 nm) 和深紫外(220 - 260 nm)光源。近紫外是经过专门设计,可曝光大部分光刻胶;中紫外用于聚合物交联以及新型光刻胶;深紫外主要用于深紫外光刻胶的研究。我们的照明器可辐照 2.13 x 2.13英寸 到 10 x 10 英寸的样品。近紫外、中紫外和深紫外光源为HgXe灯,在工作平面上产生高度均匀的准直光束。

 

特点:

高强度输出

强度分布均匀的大面积准直光束

高效带外抑制

定时曝光

 

紫外大面积曝光光源技术参数:

型号

品名

灯类型

输出光束尺寸

波段

电源要求

工作距离

92530

近紫外大面积曝光光源

HgXe灯

功率:1000W

6英寸x 6英寸

350-450nm

95-264VAC/15A, 47-63 Hz

101mm

型号

品名

灯类型

输出光束尺寸

波段

电源要求

工作距离

92532

中紫外大面积曝光光源

HgXe灯

功率:1000W

6英寸x 6英寸

260-320nm

95-264VAC/15A, 47-63 Hz

101mm

型号

品名

灯类型

输出光束尺寸

波段

电源要求

工作距离

92531

深紫外大面积曝光光源

HgXe灯

功率:1000W

6英寸x 6英寸

220-260nm

95-264VAC/15A, 47-63 Hz

101mm

 

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