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简介：
D7型λ/1000超高精度激光干涉仪，设计紧凑、用户界面友好，0.6nm*的测量精度。非常好地测量高精密光学系统、复杂的表面形状、大尺寸非球面偏差；揭示起源于制造技术的面形特征和缺陷。这对于建造精密的卫星相机、高分辨望远镜、强大的微芯片，乃至超快计算机都是*的重要手段。
主要特点：
• D7型激光干涉仪提供0.6nm的测试准确度和*的重复性(世界纪录)
• RMS重复性：< 0.06 nm (λ/10500)
• 检测球面、平面、非球面及自由形体
• 测量光学系统的透射波阵面
• 曲率半径测量
• 数据获取：相移干涉测量法(PSI)
• 尺寸：490mm x 300mm x 260mm
• D7型激光干涉仪：紧凑、可靠、使用方便
• 测试过程简便，只需三个步骤：
1. 把待测的光学系统或部件放在支架上
2. 用软件界面准直调整测试部件
3. 调整干涉条纹并按动测量按钮即可进行测量
优点：
优点 | 好处 |
理想参考：由于采用物理参考，因而没有传输误差 | 1. 省时：因为无需改变大量参考 2. 节省成本：因为无需购买昂贵的参考装置 |
比标准性能传输的菲索球面干涉仪有超过100倍更高的精度 | 节省时间和成本：因为不需要中间仪器和附加的方法来提高精度 |
D7型激光干涉仪比其它激光干涉仪可检验更多的表面特征 | 由于在安装和光学系统上市之前更好地揭示了制造误差，从而节省了成本 |
稳定性和坚固性 | 1. 省时：因为*的重复性提供准确的测试数据，无需反复地证明测试结果 2. 节省成本：因为D7型激光干涉仪不需要特殊的(工作)环境条件 |
应用范围宽 | 节省时间和成本：由于紧凑和简单的设置，可在实验室或工厂（现场）垂直和水平方向使用D7型激光干涉仪 |
没有可追溯的误差 | 由于在测量非球面和自由形体时简化的设置，从而节省时间和成本 |
主要技术参数：
性能 | |
精度 | ≤0.6 nm (λ/1000) |
RMS波前重复性 | ≤0.23 nm (λ/2800) |
数据采集时间 | 10ms |
光学 | |
系统数值孔径(NA) | 0.6 (F数 0.83) |
系统成像数值孔径(NA) | 0.55 (F数 0.91) |
成像变焦系统 | 软件界面控制4 x光学变焦 |
成像 | 具有伪影去除选项的相干（无散射玻璃） |
CCD相机 | 0.5k × 0.5k (可选：1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k，也可按照客户要求) |
高分辨率 | λ/8000 |
像素深度（数字化） | 12位 |
曝光时间 | 少40μs |
传感器像素分辨 | 500×500，直径≥50mm |
聚焦控制 | 电动及软件界面控制 |
光学聚焦范围 | ±2米 |
激光器 | |
激光类型和波长 | 稳定的He-Ne激光器，波长：632.8nm |
激光功率 | 2mW（更高功率可根据用户的要求提供） |
偏振 | 可调节测试表面性质 |
相干 | ≥100米 |
系统 | |
数据采集 | 相移干涉测量（PSI）或静态 |
PSI方法 | PZT电子相移 |
准直范围 | ±2.5度 |
准直类型 | 双点 |
准直十字线 | 计算机产生 |
*接受定制解决方案
D7型激光干涉仪的应用：
I. 波前质量
• 投影镜头
• 望远镜
• 显微镜
• 光学镜头
II.表面光学质量
• 球面
• 平面
• 角隅稜鏡
• 非球面
• 自由形体
• 参考光学系统
III.曲率半径
• 把长距离传感器与D7激光干涉仪提供聚焦精度，可获得ppm RoC精度
IV. 成像质量
• 在部署之前验证你的光学系统的分辨能力
