四氟化碳是一种有机物(卤代烃)，在常温常压下是一种无色气体，这种废气如直接排放于大气中不仅会造成严重的空气污染，而且如果人类吸入高浓度的四氟化碳会出现呼吸困难、窒息、呕吐等现象，那对于加工厂排放出来的含有四氟化碳的废气应该怎么处理?

　　目前在各种集成电路的离子刻蚀加工工艺(溶剂、润滑剂、激光气体、低温制冷剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂)中会排放出含四氟化碳的工业废气，除了四氟化碳还有三氟化氮、六氟化硫等酸性废气，也是来源于电子产品生产时芯片用的刻蚀剂、清洗剂等领域。

　　因不同的产品用到的含氟物质不同，自然排放出来的含氟物质是不一样的，含四氟化碳工业废气处理设备可以采用热催化氧化方法、直接吸收法、等离子体分解法、直接燃烧方法等处理工艺。

　　含四氟化碳废气处理方法之直接燃烧法：

　　直接燃烧指的是把废气中的有害物质当做燃料直接烧掉，在燃烧工艺进行时燃烧所放出的热量可以补偿散向环境中的热量，起到热量的二次利用，直接燃烧法适用于燃烧时热值高的、浓度高的有机废气。

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