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一、概述
MF4000系列气体质量流量计是专为管径为3mm~8mm的气体管路中的低速气流的流量计量而设计。螺纹与各种快速
接口可轻松实现机械接口转换，满足用户多种气体管路的要求，该产品可用于过程控制、大气采样等各种工业应用。
MF4003，管道内径为3mm，测量范围大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
MF40008，管道内径为8mm，测量范围大到50SLPM；可用于气体测量和控制设备、*、环境检测仪、大气采样器和各类分析仪器。
二、MF4000系列气体质量流量传感器的特点：
专为管径为3mm-8mm的气体管路中低速气流的流量计量而设计，进行流体数据统计记录
各种连接方式，易于安装与使用
输出方式灵活 既可通过通讯接口主动上传数据 ，
在*电子表上具有表现或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电
LED显示瞬时流量和累计流量，允许现场用按键配置流量计参数
可记录自上电以来瞬时流量的大值和小值 具有超量程功能 ，
全量程高稳定性、高精度和优良的重复性
三、MF4000系列气体质量流量传感器的机械尺寸
四、MF4003/08系列气体质量流量传感器技术参数
| 参数 | MF4003 MF4008 | 单位 |
| 通径 | 3 8 | mm |
| 大流量 | 2,3,4,5, 10,20,30,40,50 | SLPM |
| 量程比 | 100:1 | |
| 精度 | ±（1.5+0.2FS） | % |
| 重复性 | 0.25 | % |
| 零点输出漂移 | ±30 | mV |
| 输出漂移 | ±0.12 | %/℃ |
| 响应时间 | 10（默认，可设置20,50,100,200，500,1000） | ms |
| 工作电源 | 8~24VDC，50mA | |
| 输出方式 | 线性：RS232/RS485/模拟电压0.5~4.5VDC | |
| 显示方式 | 4位7段LED数码管显示，2个指示灯 | |
| 指示单位 | 瞬时流量SLPM;累计流量SL | |
| 显示分辨率 | 0.001，,001,0.1可设置 0.01,0.1可设置 | SLPM |
| 大流量压损 | 100 600 | Pa |
| 大工作压力 | ≤0.5 | MPa |
| 工作温度 | -10~+55 | ℃ |
| 储存温度 | -20~+65 | ℃ |
| 工作湿度 | ＜95%RH（无结冰，无凝霜） | |
| 机械接口 | BSPT1/4（R1/4）,4mm,6mm,8mm快速接头 | |
| 键盘 | 三个按键 | |
| 引出线 | 5针插座，南士CD R-5 | |
| 校准方式 | 空气（20℃，101.325KPa） | |
| 重量 | 55（带BSPT1/4（R1/4）接头） 74（带4mm,8mm快速接头） 71（带6mm快速接头） | g |
备注： 1，模拟输出为传感器的标准输出，用户可以根据不同需求选择RS232或RS485输出；
，以上参数在为 20℃，101.325KPa下测得
