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三轴超精密气浮运动台实现在XYZ方向上超精密定位。

产品特点

• 可选碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度；

• 平面式气浮，避免阿贝误差影响；

• 重复定位精度±75nm，定位精度±0.15μm；

• 速度1m/s，快速的整定时间；

• 可选光栅或激光尺位置反馈；

• 龙门式双驱结构，承载能力强；

• 优化后的线缆管理系统。

产品图片

应用领域

随着半导体行业的不断发展，三轴超精密气浮运动台相应的加工检测设备的性能必须提高，我司在运动控制上有着丰富的定位经验，推出了一款平面式H形气浮运动台。QFHDS采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供高动态性能。广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。

产品优势

采用*的碳化硅陶瓷设计，比铝合金气浮导轨性能约高5倍，热膨胀系数约低5倍。用此材料及结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，速度达到1m/s,加速度可达4g.利用多年的气浮轴承制造经验，开发一种新的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非常快的位置整定。

根据应用，QFHDS可用于主动或被动隔振系统，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等，整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。我们精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保*操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境.

规格参数