3KW微波等离子系统

输入电源：三相交流380V±5％  50Hz
地线≤1.5Ω。
输入功率：约6KVA。
外界环境温度：2℃-35℃。（低于2℃微波设备水路排空）
湿度≤75%。
工作区域：无易燃、易爆、腐蚀性气体，少灰尘。
微波系统配置及参数
微波频率：2450±25MHz。
微波功率：≤3kW。
微波源：WY3S型全自动微波源。
微波等离子作用腔由压缩波导、水冷套、石英玻璃管以及水路、气路组成。水冷套上配有水路接头，循环水路由客户提供。
系统通过控制气缸组件实现自动点火，点火过程一键完成，操作简单；气缸上配有气路接头，所需压缩气体气路由客户提供。
微波电源柜大致尺寸：750mm×840mm×1338mm。
微波等离子设备整体大致尺寸：1800mm×848mm×1338mm。

微波激发等离子体的形式

1.  微波传输线和谐振腔。
2.  慢波结构边缘场。
3.  近场微波天线。
4.  同轴基表面波激发等离子体柱和波导基表面波激发等离子体柱。
5.  利用电子回旋共振激发等离子体。

产品用途及适用范围

    等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化和等离子表面改性等场合。通过其等离子处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。 

3KW微波等离子系统