金属激光切割机激光波长 1064um

功     率  20W 30W

光束质量 ㎡<1.5

激光输出功率 10%-*连续可调

激光输出频率 20KHz-100KHz连续可调

平台移动精度 3um

重复精度 ±0.001mm

标记深度 ≤5mm 

标记线速度≤7000mm/s 

小线宽  0.02mm 

划片规格  2”-6”

划片厚度  ≤0.8mm

划片速度 ≤600mm/s 

平台行程  200mm×220mm

冷却方式  风冷

运行环境温度 15℃-35℃

电力需求  220V/单相/50Hz/<1200W

激光模块寿命  100000小时

应用范围

金属激光切割机

弗镭斯激光生产的晶圆激光划片机具有更强的通用性，使用短脉冲激光进行划片能够很好的将热影响控制在很小的区域内，目前广泛应用于GPP工艺的晶圆、四元LED晶圆等晶圆的划片。