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、高校和企业长期合作 始终以超前的科技和强大的创新能力 服务于客户。 公司主营业务覆盖：Cluster团簇式半导体工艺设备、PECVD设备、PVD设备、CVD设备、核心部件（机械手、加热器、Cluster团簇中心传送平台）、定制化真空设备、机电一体自动化服务（机电物联网服务）等一系列的产品或解决方案。