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青岛市所在地
扩散炉
应用于半导体分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。
产品特点
● 可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步
● 工艺曲线的自动运行控制功能
● 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
● 自动运行中可暂停/继续运行功能
● 可存储多组PID参数供系统运行调用功能
● PID参数自整定功能
● 工艺气体的程序控制功能
● 关键部件全部具有高可靠性
● 具有良好的人机界面
● 系统故障自诊功能
● 停电后断点继续运行功能等等
● 具有历史记录功能,可打印
● 具有多点温度补偿
● 可根据用户的特殊要求增减开发相应的功能
技术指标
● 可配置工艺管外径2~8英寸
● 可配置工艺管数量:1~4管/台
青岛微弘设备技术有限公司(以下简称青岛微弘)是一家集研发、生产、销售为一体的半导体新能源设备、光伏太阳能新能源装备、材料热处理设备的综合性现代企业,自创立以来,通过产业经营与资本运营并举发展,已形成了光伏太阳能电池、功率半导体、锂电池材料、磁性材料、粉末冶金、硬质合金、陶瓷金属化等多行业发展的产业布局。公司立足山东,*,业务覆盖国内大部分省市和地区。
青岛微弘拥有十几年的专业研发制造经验,产品服务广泛应用于行业内的大专院校、科研院所、半导体制造、太阳能光伏制造、锂电池材料制造、高性能磁性材料制造等。核心产品方面,太阳能电池行业用的扩炉等已达到国内*水平,可以替代进口设备。在功率半导体行业,成功研制生产真空扩散氧化炉、真空合金炉、LPCVD等产品,另外真空热处理炉、氢气炉等产品也已得到广泛的应用。
青岛微弘拥有精良的科研、设计、制造、服务团队,为中国半导体设备行业协会会员单位、国家半导体照明工程研发及产业联盟会员单位、中国磁性材料与器件协会会员单位,承接并出色完成了一系列国家重点项目的设备的设计制造,为国家863计划等重大科技攻关项目做出了突出贡献。
公司坚持“质量是企业的生命,诚信是立足的根本,服务是发展的保障,不断创新是微弘永恒的追求”的经营理念,加快推进“高度专业化” 发展战略,致力于实现员工成长、客户满意、企业发展、社会进步的多赢。
● 工作温度范围:400~1300℃
● 恒温区长度:300~1250mm
● 恒温区精度:±0.5℃(800~1300℃)
● 单点温度稳定性:±0.5℃/24h(800~1300℃)
● 大可控升温速率:15℃/min
● 大降温速率:5℃/min
扩散炉