臭氧的杀菌原理为：它*的氧化作用，使微生物细胞中的多种成分发生化学反应，从而导致细胞成分的不可逆转的变化而死亡。一般地，臭氧灭活病毒是通过直接破坏核糖核酸(RNA)或脱氧核糖核酸(DNA)物质而完成的。杀灭细菌、霉菌类微生物的过程为：臭氧首先作用于细胞膜并将细胞膜破坏，继而破坏膜内组织，直至杀灭。由于臭氧的强氧化性和广谱性，它具有杀菌、消毒、除臭、除味等特殊效用，已经在许多领域得到广泛应用。
食品行业中臭氧消毒方式与传统杀菌消毒方法的比较
1、臭氧与食品行业使用的紫外线照射杀菌相比具有的特点
1)、紫外线只有照射到物体表面，并且要达到一定的照射强度标准，才有杀菌消毒效果。食品生产车间，其空间一般比较高阔，这样会导致紫外线照射强度远远不够，特别是距离远时，照射形成很大的死角。臭氧为消DU气体，渗透性强，扩散性好，浓度均匀，不会有死角；紫外线照射杀菌，需要较长的作用时间，一般要照射6个半小时以上；而符合浓度标准的臭氧，只需开机1至2个小时左右，有的场合时间更短；
(2)、紫外线照射时，生产人员必须离开现场；而用臭氧进行杀菌，主要部分空间消毒完成后，可调低臭氧发生量，用符合国家卫生标准的较低浓度臭氧，继续保持生产车间的空气洁净。
(3)、紫外线照射杀菌，在环境相对湿度达到60%以上时，杀菌效果急剧下降。臭氧则不同，在湿度很高的条件下，杀菌效果仍然好。这是因为高湿度下，细胞膜膨胀变薄，其组织容易被臭氧破坏，这一特点，对于食品行业中普遍存在的高湿环境特别适合。
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