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dsa层流罩
层流罩的用途:
层流罩(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
层流罩的特点:
1.灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
2.可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
3.负压通风。这是FFU的*特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
4.第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
5.减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。
爱腾来FFU主要技术参数:
型号 | ATF-FFU-2×2 | ATF-FFU-2×3 | ATF-FFU-2×4 | ATF-FFU-3×4 | ATF-FFU-3×4 | ATF-FFU-4×4 |
外型尺寸(mm)(WXDXH) | 575×575×320 | 575×875×320 | 575×1175×320 | 875×875×320 | 875×1175×320 | 1175×1175×320 |
面风速 | 0.45±20% | |||||
噪音dB(A)(风速0.45m/s, 距出风面0.5m) | 48 | 48 | 48 | 48 | 52 | 52 |
HEPA过滤效率 | ≥99.99%@0.3um | |||||
HEPA规格 | 570×870×90 | 570×870×90 | 570×870×90 | 570×870×90 | 870×1170×90 | 870×1170×90 |
电源 | AC单相,220V/50Hz | |||||
功耗(W)(风速0.45m/s) | 120 | 125 | 140 | 180 | 240 | 280 |
机外余压(Pa) | 50~130 | |||||
振动 | ≤4um | |||||
箱体材质 | 镀铝锌板/不锈钢/铝板/冷板 |
dsa层流罩