荧光光谱仪原理是基于X荧光能谱法，但与X射线能谱形成对比的是，传统能谱采用原级X光束以45°角轰击样品，而TXRF采用毫弧度的临界角(接近于零度角)入射。由于采用此种近于切线方向的入射角，原级X光束几乎可以全部被反射，照射在样品表面后，可以很大程度上避免样品载体吸收光束和减小散射的发生，同时减小了载体的背景和噪声，亦可减少样品使用量。

将全反射和传统的能量色散集成在同一台仪器上，创新光学编码器的步进电机，保证精确角度测量，软件控制靶可自由切换，采用高分辨、低背景的帕尔贴控温硅漂移检测器。

 荧光光谱仪

可检测从钠Na到钚Pu所有元素含量，可进行痕量或超痕量元素分析（ppt或pg），广泛的应用在环境分析（水、灰尘、沉积物、大气悬浮物），制药分析（生物体液和组织样品中的有害元素），法医学（微小证据分析），化学纯度分析（酸、碱、盐、溶剂、水、超纯试剂），油品分析（原油、轻质油、燃料油），染料分析（墨水、油漆、粉末），半导体材料分析（挥发相分解），核材料工业（放射性元素分析）。

■ 单内标校正，有效简化了定量分析，无基体影响；
■ 对于任何基体的样品可单独进行校准和定量分析；
■ 多元素实时分析，可进行痕量和超痕量分析；
■ 不受样品的类型和不同应用需求影响；
■ *的液体或固体样品的微量分析，分析所需样品量小；
■ 优良的检出限水平，元素分析范围从钠覆盖到钚；
■ 出色的动态线性范围；
■ 无需任何化学前处理，无记忆效应；
■ 非破坏性分析，运行成本低廉。