等离子清洗机简介

适用于研究开发的小型等离子清洗机。

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的 台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中 心，可对应多种用途。

用途：CSP、BGA、COB基板的等离子清洗 ● 去除有机膜和金属氧化膜 ● 印刷电路基板的干式清洗 ● 界面活性处理 ● LED封装

特征：● DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配） ● RIE模式 ● 均匀性高的电极构造 ● 操作简单的触摸屏控制器

规格 型号 PDC200 PDC210 PDC510 等离子模式 RIE（DP模式选配） RIE/DP 电极构造 平行平板（固定） 高频输出 Max300W Max500W 频率 13.56MHz 控制·显示 液晶触摸屏 反应室尺寸 W400×D250×H150mm W500×D300×H200mm 电极尺寸 W250×D170mm W400×D200mm 反应室材质 铝 反应气体 2系统（Ar、O2） 填充气体 N2或干燥空气 反应气体流量控制 流量计 聚合控制器 真空泵 另行选配 油泵（约345L/分）标配 油泵（约500L/分）标配 气体导入口 反应气体2个、填充气体1个 外形尺寸 W540×D600×H600mm W540×D600×H600mm W700×D700×H1285mm 重量 约100kg 约105kg 约180kg 电源 单相 AC100V 10A 三相AC200V 6A 三相AC200V 8A