O₂ + C ----- CO + CO₂
氮气纯化装置利用氧气和钯碳纤维在催化作用下反应生成一氧化碳及二氧化碳的原理，氮气中的残氧在装有高效的钯碳纤维的除氧器中反应，去除氧杂质，再经过冷却、吸附两级干燥除水，得到高纯氮气。除氧核心部件为钯碳纤维，钯碳纤维中起催化作用的是钯等贵金属。
 
● 纯气中不含氢，适合于产品氮气中无氢的环境
● 原理简单，结构合理，能耗低
● 气体指标温度，杂质含量低
● 可选配自动系统，实现无人值守
● 应用范围广，对原料气无特殊要求
 
普通氮气：
● 压力——0.6~0.7Mpa(可调)
● 常压露点——≤－40℃
● 氧含量——≤1%
● 处理气量——10～5000Nm³/h 

高纯氮气：
● 压力——0.5~0.6Mpa (可调)
● 常压露点——≤－70℃
● 氧含量——≤3ppm
● 氢含量——无
● 氮气量——10～5000Nm³/hr
● 注：原料气更高氧含量和露点，需考虑分级除氧除水。建议使用时普氮氧含量≤0.1%，这样可以大大降低碳脱氧剂的消耗，降低使用成本。
 
 氮气纯化装置
 
O₂ + H₂ ----- HO₂
利用氧气和氢气在催化剂作用下反应生成水的原理，在氮气中加入氢气，混合气在装有高效的催化剂的除氧器中反应，去除氧杂质，再经过冷却、吸附两级干燥除水，得到高纯氮气。
 
● 纯气含过量氢，适合需还原性气氛的应用，氢含量可调。
● 原理简单，结构合理，能耗低
● 气体指标温度，杂质含量低
● 可选配自动系统，实现无人值守
● 应用范围广，对原料气无特殊要求
 
普通氮气：
● 压力——0.6~0.7Mpa
● 常压露点—— 无要求
● 氧含量——≤3%
● 处理气量——10～5000Nm³/hr
 
高纯氮气：
● 压力——0.5~0.6Mpa(可调)
● 常压露点——≤－70℃
● 氧含量——≤3ppm
● 氢含量——500~2000ppm
● 氮气量——10～5000Nm³/hr