光氧废气净化器技术已研制出标准化废气治理设备，利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子激活、电离、裂解工业废气中的各组成份，光氧废气净化器的技术研制标准使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化、无毒化，保护人类生存环境。光氧废气净化器技术，采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，初用于氟利昂类、隆类物质的分解处理，后延伸至工业恶臭、异味、有毒有害气体处理。该技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分解效果。

光氧废气净化器综合采用了和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行协同净化处理：经过等离子体电场时，在纳秒级时间范围内，产生裂变分解反应；如此协同地产生一系光解和分解反应，经过多级净化后从而达标排放。有机废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波高能率地照射，瞬间产生光解反应。