洁净厂房噪声、振动控制

    洁净厂房动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。而空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A；层流洁净室的噪声级不应大于65分贝A。还有要注意的是：1、由于技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75分贝A；2、上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）的测量值。对于变动噪声，则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。

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    洁净厂房和周围辅助性站房内由强烈振动的设备及其通往洁净室的管道，应采取积极的隔震措施；综合振动影响应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其菜取必要的隔振措施。

    洁净厂房主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷的性能（地震区应符合抗震设计规定）；厂房变形缝应避免穿过洁净区；送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井；对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其方案设计和构造的处理，应避免在人流与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响；洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其他用室，物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中污染。