进口高纯减压器

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高纯减压器简介：

高纯减压器单级减压器适用于非腐蚀性，腐蚀性气体。膜片和阀体的密封采用硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。

进口高纯减压器

结构特点 Features

316L 不锈钢母体

膜片式硬密封，泄漏率低

可采用面板安装和后座安装

压力表标准连接： 1/4” FSR(M)

可选：1/4” FSR (F)

内部电解抛光

高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业

使用寿命长

通过氦气测试

材质 Materials

母体：316L

阀座：PCTFE

膜片：316L

上盖：316

功能特性 Functional Performance

流量：Cv=0.14

母体泄漏率：2x10 -8 atm cc/sec He

阀座泄漏率：4x10 -8 atm cc/sec He

设计验证压力：zui大额定压力的 150%

设计爆破压力：zui大额定压力的 400%

工作条件 Operating Conditions

zui大的入口压力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)

出口压力：0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),

0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar),

0-500 psi (35 bar)

温度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)

流道表面 Surface Finish

标准：Ra 20μin

可选：Ra 10μin

内部容积 Internal Volume

4.6 cc