临沂净化工程之洁净室空气净化处理

   目前洁净室对送人空气的净化方法，zui重要和使用zui广泛的方式是空气过滤法。送入洁净室的清洁空气主要是靠送风系统的各部位位置不同性能的空气过滤器，用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。近年来，根据一些工业产品生产的微细化、精密化和高纯要求，还需去除空气中浓度极微的化学污染物或分子污染物，如超大规模集成电路生产、生物制品的生产等。为此，在洁净室的送分系统应增设各种类型的化学过滤器、吸附过滤器、吸收装置等。

   临沂净化工程之洁净室空气净化处理，通常所指的空气污染物质主要有以下三类：

1. 悬浮在空气中的固态、液态粒子；包含附着在粒子上的分子污染物。
2. 霉菌、等悬浮在空气中的微生物。
3. 各种对人体或生产产品有害的气体。

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