弹性变形真空计利用弹性元件在压力差作用下产生弹性变形的原理而制成的一种直接测量真空计。根据弹性变形量的测量方式划分 , 有机械传动式和电量测量式。
(1) 机械传动式：弹性元件在压力差的作用下产生的弹性变形，通过机械传动来驱动显示仪表。具体形式有弹簧管式、膜盒式和膜片式，它们的外观呈压力表形，又称指针式真空表。
(2) 电容式薄膜真空计 : 根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计 , 它由电容式薄膜规管(又称为电容式压力传感器)和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法 ,仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在*作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。
近年来 , 电容式薄膜真空计取得了重大进展，新型的双电容式薄膜真空计的问世，提高了该类真空计的精度 , 扩展了测量范围 , 使其测量下限可达10-3Pa。单侧双电容薄膜真空计具有灵敏度高 、气体的介电常数不变 、压力读数*不受气体成分影响、反应速度快等特点。如将其规管参考室内加置消气剂并抽至≤10-5Pa，就可测量≤10-3Pa的压力。

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