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捕获气体真空泵在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,65%~95%是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但扩散泵抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。Polycoole r水汽深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
捕获气体真空泵的工作原理:将一个-120℃以下的低温盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体,从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境,提高产品的产量和质量, 获得更高的商品价值。
技术参数
* 工作温度:-100~-145℃
* 制冷量:1200W
* 盘管面积:0.5㎡
* 水气捕集速度:74000L/sec
* 冷却方式:水冷式
* 仪器重量:360kg
* 电源要求:380V/3Ph/50Hz/6.5kW
* 仪器外形尺寸:750W×900D×1650Hmm
产品特点:
*温度可达到-100℃~ -145℃。(温度低至-165℃)。
*多种型号,制冷量可达到3500W。
*水汽抽速爲250,000 L/s,真空可达到1.5*10-12 torr。
*快速的捕集水汽,在高真空系统中可缩短60%-90% 的抽气时间。
*改善镀膜的品质,提高真空系统生产能力约20%到99%
*8~16路温度显示和监控,包括负载、本机、排气、冷却水等温度。
*6组安全保护,包括温度、压力、电源相序及过载等。
*进口压缩机,绿色环保混合型制冷剂,高效可靠。
*完善的自动化控制,本地、远程可选,带RS485通信接口
*一台机器可带2路负载输出,满足广大用户的不同需求。
6组安全保护:
*排气压力过低
*排气压力过高
*排气温度过高
*冷凝温度过高或过低
*制冷机过载或过热
*电源相序异常