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型号 | SP3-3020A | SP3-3020B | SP3-3020V | SP3-4030A | SP3-4030B | SP3-4030V |
XYZ轴行程 | 300*200*200mm | 300*200*200mm | 300*200*200mm | 400*300*250mm | 400*300*250mm | 400*300*250mm |
光栅尺 | 0.1μm式 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm式 | 0.1μm | 0.1μm |
伺服控制系统 | Easson | UWC4000I | UWC4000I | Easson | UWC4000I | UWC4000I |
变倍镜头 | Easson自动 | PMS自动 | PMS自动 | Easson自动 | PMS自动 | PMS自动 |
影像测量软件 | Easson自主 | Inspec高精度 | Rational vue | Easson自主 | Inspec高精度 | Rational vue |
玻璃台尺寸 | 340*240mm | 440*340mm | ||||
载物台尺寸 | 460*360 | 500*400mm | ||||
机身重量 | 280kg | 410kg | ||||
外形尺寸 | 1350*800*1700mm(长宽高) | 1600*950*1900mm(长宽高) | ||||
分辨率 | 0.1μm | |||||
重复性 | 0.002mm | |||||
示值精度 | E=(2.5±L/200)μm,(L单位:mm) | |||||
机台承重 | 30kg | |||||
传动方式 | 三个轴采用PMI中国台湾精密级滚珠丝杆,速度有大提升,而且运作平稳 | |||||
操作方式 | 摇控手柄,鼠标拖运,程序检测 | |||||
影像系统 | 日本SONY芯片高解析彩色摄影机 | |||||
光学放大倍率 | 0.7-4.5X,(0.5X,1.5X,2.0X附加镜片) | |||||
实际倍率 | 20-125X(配附加镜片可达到10X-250X) | |||||
照明系统 | USB控制四路上光源,直轴可调下光源 | |||||
工作机台 | 高精度花岗岩平台 | |||||
电源 | AC 220±5V,50Hz | |||||
使用环境 | 温度20±3 ℃、湿度35%-65% |