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立式接触式干涉仪JDS-1参数
被测件长度: | 150 mm |
工作台行程: | 5 mm |
测杆移动范围: | 0.5mm |
分划板刻度范围: | ±50格 |
直接测量范围: | 5-20μm |
分度值调整范围: | 0.05-0.2 μm |
推荐使用分度值: | 0.1 μm |
测量压力: | (1.5±0.1) N |
仪器示值稳定性: | 0.02 μm |
仪器误差: | ±(0.03+1.5ni △λ/λ)um n 是格数, i是格值,λ是滤光片中心波长,△λ是滤光片波长误差 |
仪器体积: | 280×500×700 mm |
仪器重量: | 40 kg |