仪器参数：

一、粗糙度测量

X 轴 (驱动部)

1.测量范围: 100mm

2.分辨率: 0.5μm

3.长度基准: 高精度位移传感器

4.驱动速度: 0 – 10mm/s

5.测量速度: 0.5 - 2mm/s

Z 轴 (立柱)

1.类型: 电动操作

2.垂直移动: 350mm

检测器

1.范围／分辨率: 1000μm / 0.01μm

2.测针针尖: 2um

3.示值误差: ±5%-—±7%

4.测量重复性: ± 3% -—-±5%
5.类型: 差动电感式

6.驱动装置的控制:手动或 PC 操作

评价参数

1.Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,

Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,

mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, A2

取样长度

1.0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm