VMR-Z120X-影像测量仪-,影像测影仪上海腾宏毅实业有限公司手机版

详细介绍

VMR-Z120X 高倍率系列（微機電）可变倍率高达 120 倍，针对需要较高精密度和高光学密度的应用领域

1.发的zui高倍率机型 vmr-z120x

藉由转换2组物镜而获得宽广的倍率，范围从 1 倍到 120 倍。使用上结合 8 段的变焦倍率后，使其应用从低倍率时宽广视野观测到小於 1um 的细微线宽量测，都有*的倍率选择。

2.物镜－大视野与高解析（n. a. 0.55 ）
结合2种物镜后的应用范围更加宽广，从低倍率时大视野的观察到高倍率时的精密测量都能使用。

倍率 - 视野表 （mm）

光学倍率综合倍率视野	1X 36X 4.67x3.5	2X 72X 2.33x1.75	4X 144X 1.165x0.875	7.5X 270X 0.622x0.467
光学倍率综合倍率视野	16X 576X 0.291x0.218	32X 1146X 0.146x0.109	64X 2292X 0.073x0.065	120X 4320X 0.039x0.029

* 以上的倍率显示为 SXGA（1280*1024）模式于 17" 液晶荧幕上所呈现出來的結果

3.机种型
组藉由提供 3 种 cnc 控制的光源类型给予*的照射－表面光、轮廓光（高倍率光学头）和暗视野；使得边缘的侦测拥有高精确度。

规格诸元表

机型		VMR-1515 Z120X	VMR-3020 Z120X	VMR-6555 Z120X	VMR-10080 Z120X	VMR-12072 Z120X
行程（XxYxZ） mm		150 × 150 × 150	300 × 200 × 150	650 × 550 × 150	1000 × 800 × 150	1200 × 720 × 150
zui小读值		0.1 μm
zui大承重		20kg	20kg	30kg	40kg	40kg
量测精度	U 1X U 1Y	1.5+ 4L /1000 μm	1.5+ 4L /1000 μm	1.5+ 2.5L /1000 μm	2+ 4L /1000 μm	2.2+ 4L /1000 μm
	U 2XY	2.5+ 4L /1000 μm	2.5+ 4L /1000 μm	2.5+ 2.5L /1000 μm	3+ 4L /1000 μm	3.2+ 4L /1000 μm
	Z Axis	1.5+ L/150 μm
攝影机		B & W 1/3"CCD（progresssive） ; Color 1/3"CCD
工作距离	高倍	9.8 mm
	低倍	32 mm
倍率─ 视野		1X -- 4.67 × 3.5 mm / 120X -- 0.039 × 0.029 mm
自动对焦方式		TTL 雷射對焦和影像對焦
光源种类		底部光（高倍光學頭）、表面光、暗視野
電源		AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz
电力消耗		Max. 13A		Max. 15A
外观尺寸与重量（W x H）mm	仅主体	512 × 703 × 1200 約 180kg	625 × 728 × 1195 約 200kg	N.A.
	主体与防震桌	690 × 730 × 1725 約 220kg	690 × 730 × 1725 約 240kg	1220 × 1680 × 1750 約 600kg	1530 × 2200 × 1750 約 1500kg	1734 × 2200 × 1750 約 1600kg
	控制箱	250 × 550 × 500 約 31kg
接地尺寸（W x D） mm		2100 × 1100	2100 × 1100	2400 × 2000	2800 × 2500	3000 × 2500