电子显微镜

在机器制造和仪器仪表制造工业中，为了保证产品零件的互换和提高零件使用性能及寿命，除了采用合理的设计和工艺方式，以及科学地选用材质外，其中相当重要的一环就是要严格地控制所制零件的几何尺寸和形状位置，必须在图纸所规定的各项公差之内。因此，要求对大量不同形状的零件、*和样板，诸如图1-1所示进行几何量的精密测试工作。
    从图中可以看出，要满足这些零件几何参数的洲量，所用仪器要求能实现图1-2所示几种座标系的机能，则只有使用*显微镜或座标侧量机。

    *显微镜是工厂计量室和实验室zui常用的一种光学机械式或目前发展成光、机、电式的一种测量仪器。它之所以*之称，就是能利用仪器的各座标系进行复杂零件的测试工作。应用范围极为广泛。如果加上有经验的测试者对仪
器各种附件进行灵活组合，就能更充分地发挥其测量作用。
    目前/我国这种仪器类型很多，有国产的19 i和它的改进型19 jA等，也有从国外进口的蔡司（Zeiss） （j ） UMM200型，苏联YMM-21型，西德奥普东（OPTON） UMM200,300型等等。七十年代以来国内外又在现有的这些仪器上加以技术改造，把作为标准的毫米刻度尺，改用了光橱或其他增量编码尺，实现测量结果的数显和自动化，扩大了测量范围。但对精度来说，没有太大的变化。那是奥林巴斯显微镜要求满足多种座标系的测量，可动环节多，各座标轴方向，导轨的运动精度又彼此影响，与工件接触定位（包括光学影象对准定位）的高灵敏的*触头和替代一般光学显微镜适应各种轮廓形状侧量的光电显微镜缺乏满意的结构之故。
    本文以目前工厂实验室zui普遍使用的*显微镜为例，结合共性问题，对该类仪器的精度、部件使用和测量方法，作比较有系统的叙述。

 

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