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CIF在线片式真空等离子清洗机
- 型号
智能石墨消解仪
CIF来源于美洲，服务于中国，是一家集实验室仪器设备研发、制造、销售、服务、产品应用为一体的专业化集团公司，在半导体技术和无机样品前处理技术领域为客户提供的、高品质的实验仪器设备和应用工艺解决方案。CIF中国总部坐落于北京国际企业孵化中心(IBI)，系国家j企业。CIF中国公司具有自主进出口权，企业通过 ISO9001-2008质量管理体系认证，全系列产品通过CE认证，并获得多项国家专l。
详细信息
产品特点
◆
轨道宽度可调，可选择同时清洗四种不
同宽度的产品。
◆
片式清洗，清洗效果更明显。
◆
单边上下料结构，
无需更换料盒，
清洗后的产品自动回到原来的料盒，
杜绝混批。
◆
双清洗托盘，
一个清洗的同时另一个备料，提高生产效率。
◆
一键更换产品，设备所有参数及设置自动加载
，无需人工设定。
◆
手动清洗与自动清洗均一键操作，操作使用更简
单。
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产品安全多重设计，确保不会造成产品变形损
坏。
◆
四条通道每个地方独立检测，准确判断问题所在。
◆
设备安全多重设计，确保人身安全。
◆
模块化设计，国际品牌配置，确保设备稳定运
行。
技术参数
电源系统
射频电源
13.56MHz
射频功率
0-600W
真空系统
真空管路
全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管
材质
铝合金
密封性
一体成型
腔体体积
9.6L
腔体尺寸
550*350*50
适用产品尺寸
180-280mm*25-90mm( 长 x 宽）
适用料盒尺寸
180-290mm*25-93X250mm( 长 X 宽
X 高 )
通道数量
标准
4 条 ( 可定制 )
电极板大小
520x320
mm
等离子激发时间
等离子激发清洗时间
5
Sec
产量
UPH
480( 蛇皮时间 10S,4 条流道时 )
清洗能力
水滴角
水滴角测试
流量范围
0-300Sccm
工艺气体
标配
2 路，可定制氩气：3bars 1L/min 氮气：3bars 1L/m
in
其它参数
电源
AC
380V 5.5KW
外形尺寸
1920X1120x2170mm
