临沂半导体净化车间设计安装

净化车间

中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过。

100000级空气净化处理，临沂半导体净化车间可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，高效空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。确定集中或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺的特点和半导体净化车间空气的洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、无尘室或净化车间面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。

半导体净化车间的地面材料。净化车间地板工程常用的地板有环氧树脂防静电自流平型地板，环氧树脂自流平型地流。

一、环氧树脂防静电自流平型地板1.铺设铜箔：横竖交叉铺设；2.底涂涂装：导电底涂涂装；3.中涂涂装：根据所落地面厚度镊防静电中涂；4.基材处理：打磨并清洁地面，要求基材干燥、无空鼓；5.面涂涂装：镬图环氛防静电自流平面漆。环氧树脂防静电自流平型地板的适用于通讯设备制造厂、芯片无尘制造厂、STM无尘车间、光学仪器半导体净化车间、实验室等有较高防静电要求的洁净车间。

二、环氧树脂自流平型地流1.打磨地面，清扫、吸尘；2.涂刷封闭底涂；3.刮腻子（中涂）；4.打磨、吸尘；5.自流平面。环氧树脂自流平型地流的适用电子厂、电器厂、食品厂、化妆品厂、包装厂、纺织厂、服装厂等。

青岛洁净净化技术有限公司

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