净化工程设计

洁净车间内的空气分配设备（通常是吊顶过滤器）被设计成“喷淋式”，用来提供统一的、洁净的已过滤的空气。向房间补给的空气量，让人想起与普通的淋浴喷头相反的消防。美国联邦标准209E、日本标准JIS B9920和ISO 标准14644-1的标题是：洁净室外和相关控制环境——*部分：清洁空气的分级。这些标准提供了洁净室参数、分级和检测方法的指导方针，但并未说明如何经济有效地达到要求。这是因为每种生产过程和洁净室外的要求是不同的，因此，可以采用不同的再循环空气量，达到预期的环境要求。

房间内污染物的比率和实际微粒产生情况，是影响洁净室空气换气次数的主要因素。在生产过程中，不对其他因素产生任何影响的情况下，清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影响再循环空气数量的因素是：房间的结构、设备的位置、设备表面温度、空气对流、气流类型（单向通过敏感区或者通过全空间）、操作空间和规章、使用的材料和化学药品等。

洁净车间可能需要在静态下进行鉴定，在工况下进行鉴定，对生产过程进行确认或者cGMP认证。由综合服务管理部制定的联邦标准209（e），建议100或90fpm。然而有可能建立一个空气流动速度较低，但比100级洁净度更高的洁净室。实际上，已经有洁净室的空气流动速度是45cfm/平方英尺。

新风处理空调箱[Make-up AHUs]。典型的新风处理空调箱（初级AHUs）为循环风空调箱（二级AHUs）提供必需的新风。新风由离心排风机、轴流或plug风机加上过滤器、预热和再热用热水盘管、冷却和除湿使用的冷冻水盘管、蒸汽和绝热加湿器等组成。附件和差异包括静电空气混合器、蒸汽预热盘管、超声波加湿器、盐水、除湿用的直接交换[Dx]或乙二醇低温冷冻盘管、VOC吸附过滤器、噪声衰减器，VFP（变频）驱动等。

新风处理空调箱通道是将空气注入集管，再通过支管系统给循环风空调箱提供新风。在初级和二级风管上进行空气测量，并调节送风机、VFD或进口风阀以便恒定风量。Magnahelic讲量器临测安装在各个空调箱内HEPA过滤器布袋过滤器和预过滤器的荷载。有吊顶风机过滤器的情况下，新风处理空调箱出来的空气进入循环风空调箱再送出。

循环风空调箱（Recirculation AHUs）。典型的循环风空调箱由高效离心式风机、过滤器和湿热（干）冷盘管组成。附加和差异包括用于局部温度控制的再热盘管、用于局部湿度控制的蒸汽或超声波加湿器、风量恒定控制箱。这种采用Whisper-Air and Compac Space 风机系统的方式提供了一种节约成本和充分使用能源的选择。

多重循环风空调箱通过送风管，再经过ULPA过滤器或HEPA过滤器，将空气送入洁净室，在洁净度等级为10级和1级的洁净间的吊顶上，这些过滤器通常是*覆盖。垂直单向气流向下通过洁净间，穿过带孔的架空地板砖进入地板下面的回风空间，再通过垂直回风夹道向上进入吊顶回风静压箱。然后 ，空气再次进入循环风空调箱，以上的空气循环再次重复。如果是使用吊顶风机过滤器，在风机过滤器上面的吊顶空间时，可以安装水或直接交换冷却风机盘管实现表面冷却。

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