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硅片清洗机
硅片清洗机
硅片清洗加工设备,可广泛用于
IC
生产及半导体元器件生产中晶片的湿法化学
工艺。型号:
CGB-XXXX—XX
系列,品牌:华林嘉业
—CGB
该设备可有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、
塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。
可用于完成扩散前、光刻后、
CMP
后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:
RCA
清洗、
SPM
清洗、
SC
清洗、金属离子及杂物去除清洗等。
◇全自动硅片清洗机
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