起订量:
EVC150L 半导体百级无尘烤箱
艾德生仪器有限公司(EDESON INSTRUMENT CO.,LTD.)是致力于生产可靠性环境试验仪器设备及生化仪器的专业化性公司。
公司拥有一支专业从事产品研制、售前、售后服务的人才队伍,具有完善的工艺、工装、检测和质量管理制度,所有产品的生产均按ISO9001:2000质量体系实施受控管理。
EDESON已成功为众多领域厂商、科研机构Lab提供了专业的仪器解决方案!所有产品均已在航空、航天、造船、电力、电子、汽车、医药、通讯、*、科研机构及大专院校广泛采用,如:*、*、中国计量科学研究院、中国兵器研究院、中国核动力研究院、上海电动工具研究所、北京大学、华中科技大学、诺丁汉大学、中国药科大学、上海交通大学、上海同济大学、中国中医*、中石油、中石化、航天机电、贵航电器、瑞声光电、普天通讯、共达电讯、上海大众、上海通用、国家机动车检测中心、SGS、天祥检测等科研机构、高等院校及检测机构的*好评。在此,我们衷心感谢广大新老客户多年来对EDESON的支持与信赖!
EDESON也将秉持一贯的专业精神和质量,格守“为客户创造价值”的经营理念,一如既往地为广大新老客户提供优质、高效的产品与服务,树立“EDESON”品牌形象。公司先后在北京、上海、深圳、武汉、哈尔滨设立了售后服务处,以便为客户提供更快、更好的优质服务!
本公司主要产品有:高温老化房、高低温试验箱、恒温恒湿试验箱、超低温试验箱、温度冲击试验箱、盐雾试验箱、二氧化硫试验箱、高低温湿热试验室、恒温干燥箱、防水试验箱、防尘试验箱、紫外光老化试验箱、低温恒温槽、冷凝水试验箱、拉力试验机、生化培养箱、药品冷藏箱、*、光照培养箱、药品稳定性试验箱、人工气候室及高压蒸汽灭菌器等系列产品。
本公司产品符合ISO、GB、GJB、ASTM、DIN、JIS、CNC、UL、MIL、IEC等标准及大众汽车TL,通用汽车GM汽车行业标准,产品遍布世界各地。
EDESON坚信,通过我们的合作与努力必将达到我们共同的目标——品质成就品牌!
-服务工业 品质成就品牌-
EVC150L半导体百级无尘烤箱的详细资料:
一、
半导体无尘烤箱
设备用途:
半导体无尘烤箱
Class 100百级洁净无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
二、
半导体无尘烤箱
产品特点:
1
、在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100级;
2、内胆四周氩弧焊,耐高温硅胶密封,SUS304#不锈钢加热器,防机台本身所产生微尘;
3、采平面水平送风后经美国进口H.E.P.A Filter装置往前 (特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100排气口:3"φ(附自动启闭风门)
4、箱内空气封闭强制自循环,经耐高温空气过滤器反复过滤,使干燥箱工作室内处于无尘状态。水平循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,温度控制精度。
5、配压差计随时了解过滤器工作状态。
三、
半导体无尘烤箱
洁净度100级的洁净热处理:
HEPA
高效过滤器与前出风型水平层流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与Class 100级洁净度小限度控制风速距离。
三、技术参数:
设备型号
EVC 150L
□
EVC 320L
□
EVC640L
□
EVC 270L2
【双层】
内箱尺寸W*D*H mm
500×500×600
600×600×900
800×800×1000
700×700×500
外型尺寸W*D*H mm
以实物为准(温度不同外箱尺寸不同)
工作温度范围
A: 250
℃ B: 300℃
洁净度
Class 100
级(可定制Class 1000级,Class 10000级)
性能
解析精度
0.1℃
分布均匀度
±2.5℃%
材质
外部材质
SPCC
钢板粉体烤漆处理
内部材质
SUS
﹟304镜面不锈钢板
隔热材质
玻璃纤维棉/陶瓷纤维棉
密封材料
硅橡胶
加热方式
热风循环加热/自然对流加热/热辐射加热
加热系统
不锈钢高速加热器
计时器
0.1S
~9999H
温控器
普通数显温控型/触摸屏PLC程序控制器
其它配件
多层强化玻璃视窗(260℃以内),隔层置物架(两片)
安全装置
电路系统负载保护,风机过载保护,温到计时时到断加热,故障警示灯
选配件
温度记录仪;
②
推车;
③
测试孔(Φ25mm);
④可选装充氮功能(N
2
)
设备电源
AC 220V
或380V 50HZ
备注:1、以上数据均在环境温度(QT)25℃.工作室无负载条件下测得。
2、可依客户要求制作,满足客户的要求。本技术信息,如有变动恕不另行通知