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NS200 台阶厚度测量仪

型号
NS200
参数
是否进口:否 型号:NS200
深圳市中图仪器股份有限公司 0免费会员 生产厂家

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一键式测量仪,影像测量仪,轮廓测量仪,激光干涉仪,激光跟踪仪,机床侧头,图像尺寸测量仪,白光干涉仪

深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。


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中图仪器坚持以技术创新为发展基础,拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队,历经20年的技术积累和发展实践,研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备,能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。


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中图仪器还将继续专注于精密测量检测技术的发展,自强不息、知难而上、勇于创新,为中国制造技术的快速发展贡献力量!

详细信息

NS系列

台阶厚度测量仪

是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。

工作原理

当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。

针对测量ITO导电薄膜的应用场景,NS200台阶仪提供如下便捷功能:

1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;

2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;

3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;

NS系列

台阶厚度测量仪

对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。

典型应用

产品特性

1.出色的重复性和再现性,满足被测件测量精度要求

线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

2.超微力恒力传感器:(1-50)mg可调

测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。

3.超平扫描平台

系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。

4.顶视光学导航系统,5MP超高分辨率彩色相机

5.全自动XY载物台, Z轴自动升降、360°全自动θ转台

6.强大的数据采集和分析系统

台阶仪软件包含多个模块,为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。

部分技术参数

型号

NS200

测量技术

探针式表面轮廓测量技术

探针传感器

超低惯量,LVDC传感器

平台移动范围X/Y

电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)

样品R-θ载物台

电动,360°连续旋转

单次扫描长度

55mm

样品厚度

50mm

载物台晶圆尺寸

150mm(6吋),200mm(8吋)

尺寸(L×W×H)mm

640*626*534

重量

40kg

仪器电源

100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用环境

相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH

温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)

地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)

音频噪音:≤80dB

空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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产品参数

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型号 NS200

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