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起订量：
上海真空机组
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详细信息
一、概述
用途：本设备主要用于腔体抽真空
规格：
a
、结构形式：方管机构；
B
：极限真空度：优于
2
×
10-4Pa
C
：操作方式：手动；
D
：冷却方式：水冷；
e
：总功率：
2kw
；
F
：输入电压：
AC220V
±
10%
二、操作步骤说明
1.
插上外接电源线，放开急停按钮，按下电源启停开关
2.
机组启动：
a
、（全手动）先按下机械泵启动按钮，机械泵开始运行。当真空度优于
10pa
后，在按下分子泵启动按钮，分子泵开始运行。
B、
（半自动）先按下分子泵启动按钮，再按下机械泵启动按钮，机械泵开始运行。待真空度优于
10pa
后，分子泵会自动启动。
备注
: b1.
分子泵和机械泵、复合真空计之间有连锁关系，所以分子泵启
动必须具备以下关系才能启动
: a:
机械泵按钮按下
; b:
真空度优于
10Pa,
以上两个条件缺一不可。
b2
、 机组运行过程中，真空计电源不能断掉，否则分子泵无法运行
3
、机组停止
:
按下分子泵启停按钮，分子泵开始停止工作，分子泵电源显示屏上显示的转速逐渐降低。当分子泵电源显示屏上的转速变为
0
后，关闭机械泵按钮。
4
、最后关闭电源启停按钮，按下急停按钮
三
.
安全保护装置及事故处理
安全保护装置
:
电源安全保护装置
;
注意事项
:
1.
开机之前确保电源、
冷却水供应正常
:
2.
设备运行过程中，经常检查机械泵、分子泵运行是否正常。
设备故障应急处理
1.
如遇设备异常请及时请专业的电气、机械维修人员进行维修
;
四
.
设备保养及维护
真空管道的维护
1.
抽气管道每年应清理一次。
长期停产时的维护和保养
1
如果停产， 设备长期不使用也应对设备作必要的维护，
2.
抽真空除尽炉体内潮气，然后充入氨气至常压
:
3.
对电气部件每隔三个月进行一次通电，每次通电一小时左右。
五
.
设备运输及贮存
运输注意事项
本设备搬运时不得颠倒、侧放或碰撞，以避免损坏设备。
贮存条件、期限及注意事项
1.
用户如暂不使用设备，请不要打开包装箱，应妥善存放在相对湿度不超过
90%
和通风良好的场所，不得颠倒和侧放，其贮存期应不大于六个月。
2.
注
:
不得露天
