起订量:
晶圆真空固化炉
产品用途:
本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料固化 的专用设备,烘箱温度可达450°c
性能特点:
♦真空度可达10 Pa
♦箱体内氧含量:≤20ppm,提供氧含量检测接口
♦曰本优易控触摸屏,升降温斜率控制
♦内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作
型号MODEL
SXYJ-1
SXYJ-2
内箱尺寸(H*W*D) CM Interior dimensions
20*20*40
30*30*60
温度范_ Temp.range
RT+20°C 〜450°C
温度波动度 Temp.constancy
士 0.5°C
真空度
vacuum
lOpa
氧含量
oxygen content
≤20ppm
内箱材质 Interior material
SuS316 不锈钢 Stainless Steel Plate
外箱材质 Exterior material
钢板静电喷涂表面处理Baked Painting Steel
保温材料 Insulatio material
硅酸锦纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton
保护装置 Safety devices
声光报警器超温保护器Audible and visual alarm,Over Temp
功率(kva)
9.0
12.0
电源
Power
AC380V±10%3φ 50HZ
*
欢迎订制不同规格尺寸的非标准烘箱